產品簡介

1. 應用
1). 擴散器是CVD製程和氣體製程入口的核心部分。 性能的關鍵點在於顆粒的沉積均勻性和過程中的氣相均勻性。
2). 上部電極乾式蝕刻機功能相似。 製造的關鍵是數萬孔加工和保持平整度。

2. 材質
純鋁6061 + 陽極氧化

3. 規格
1). LCD液晶顯示器從第3代到第8.6代
2). AKT業凱、ULVAC優貝克