平面顯示器

Susceptor 加熱器

產品簡介


1. Application
TFT-LCD / LED 製程中Array 製程設備中CVD 設備(化學氣相沉積鍍膜設備)零件,使用溫度可達 350~400°C.

2. Material
Aluminum 6061 + Anodizing ( 草酸, 混酸, 獨家專利技術)

3. Specification

2). AKT、ULVAC

 
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