PECVD 真空機器人墊

產品簡介

1. 應用
PECVD真空機器人墊，在LCD製程設備一環 
電漿輔助化學氣相沉積系統 (Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition, PECVD)

2. 材質
S-Si Pad

3. 規格
1). LCD液晶顯示器從第3代到第8.6代
2). AKT業凱、ULVAC優貝克