產品簡介

1. 應用
TFT-LCD / LED 製程中Array 製程設備中CVD 設備(化學氣相沉積鍍膜設備)零件，使用溫度可達 350~400°C.

2. 材質
純鋁 6061 + 陽極氧化 （草酸, 混酸, 獨家專利技術）

3. 規格
1). LCD液晶顯示器從3.5代到10代 
2). AKT業凱、ULVAC優貝克