產品簡介

1. 應用 
薄膜電晶體液晶顯示器/ 低溫多晶矽薄膜電晶體液晶顯示器/ 有機發光顯示器/ 半導體
薄膜電晶體液晶顯示器（Thin film transistor liquid crystal display，簡稱為TFT-LCD）
低溫多晶矽（Low Temperature Poly-silicon；簡稱LTPS) 是新一代薄膜電晶體液晶顯示器(TFT-LCD)的製造流程
有機發光顯示器 （Organic Light Emitting Diode，簡稱OLED），是利用發光二極體可以自行發光的特性而不用靠背光板的一種顯示技術

2. 設備
1). Process used RF Generator (RF Plasma Generator, RFG)
2). Matching box (Matcher)
3). Clean used RPSC (RPS, Remote Plasma Source)
4). Clean used MF Generator, Reactor

RPS: Remote Plasma Source 遠距電漿產生器
RPSC: Remote Plasma Source Clean 遠距電漿產生器
RFG, RPG: RF Plasma Generator 射頻電漿產生器

3. 品牌
1). NPP (New Power Plasma)
2). MKS
3). DAIHEN
4). AE